Jaapani keemiatootja JSR, mis moodustab ligikaudu viiendiku ülemaailmsest fotoresistide turust, kavatseb ehitada oma esimese tootmisüksuse Taiwani ja teha koostööd TSMC-ga täiustatud fotoresistide väljatöötamiseks.Ettevõte asutas aprilli alguses ühisettevõtte Taiwani ettevõttega ja kavatseb kümnete miljonite dollarite suuruse investeeringuga alustada tootmist juba 2028. aastal.
Tehas aitaks JSR-il Taiwani turul kaotada oma kahe suure Jaapani rivaaliga lõhe.Tokyo Ohka Kogyo Co. (TOK) ja Shin-Etsu Chemical Co juba tegutsevad Taiwanis tootmisrajatistes ja teevad fotoresisti väljatöötamisel otse koostööd TSMC-ga.
Fotoresist on valgustundlik materjal, mida kasutatakse litograafias vooluahela mustrite ülekandmiseks räniplaatidele.Täiustatud protsessisõlmedes peavad fotoresistid olema täpselt häälestatud töötama konkreetsete litograafiaseadmete ja söövituskeemiatega.See häälestamine nõuab korduvat suhtlust fotoresistide tarnijate ja valukodade vahel.
JSR arendab praegu Taiwani klientidele tooteid, saates näidiseid oma Jaapanis, Ameerika Ühendriikides ja Belgias asuvatest tehastest, kusjuures iga edasi-tagasi reis võib kesta mitu nädalat.See aeglustab iteratsiooniprotsessi, samas kui selle konkurendid saavad kohalikest tootmisbaasidest kiiremini liikuda.Taiwani tehase ehitamine võimaldaks JSR-i inseneridel teha tihedamat koostööd TSMC uurimis- ja arendusmeeskondadega, seda mudelit juba kasutavad TOK ja Shin-Etsu Chemical.Lisaks fotoresistidele kaalub JSR Taiwani rajatises ka muude materjalide, sealhulgas pooljuhtsubstraatide silumiseks kasutatavate abrasiivide tootmist.
JSR-i laienemine Taiwanis on osa laiemast kasvuplaanist.Ettevõte ehitab Lõuna-Koreas ka maailma esimest metalloksiidiresistide või MOR-i masstootmisrajatist.Tehas alustab masstootmist 2026. aastal ja tarnib Samsung Electronicsile ja SK Hynixile tinapõhist MOR-i EUV litograafia jaoks.
Võrreldes tavaliste keemiliselt võimendatud resistidega, mida kasutatakse vanemates protsessisõlmedes, suudab MOR tõhusamalt absorbeerida EUV footoneid, võimaldades suuremat eraldusvõimet ja vähem mustrivigu.JSR omandas MOR-tehnoloogia pioneeri Inpria 2021. aastal ja on sellest ajast alates arendanud tinaoksiidil põhinevaid preparaate.Samuti plaanib ettevõte müüa MOR-i TSMC-le, positsioneerides end järgmise põlvkonna EUV ja High-NA EUV tootmisliinide jaoks, mis on vajalikud TSMC 2nm ja arenenumate protsessisõlmede jaoks.
Jaapani ettevõtted moodustavad kokku umbes 80% ülemaailmsest fotoresistide turust ja domineerivad peaaegu täielikult tipptasemel EUV segmenti.Hiina ettevõtted on teinud edusamme KrF ja i-line fotoresistide vallas, kuid nende turuosa ArF ja arenenumates kategooriates on endiselt väga madal.
"Hiina ettevõtted kujutavad endast ohtu, kuid neil kulub veidi aega, et meile järele jõuda ja turuosa võita," ütles JSRi elektrooniliste materjalide äritegevuse eest vastutav tippjuht Toru Kimura.Näib, et JSR-i strateegia eesmärk on säilitada oma juhtpositsiooni, luues ühiseid arendussuhteid turu tehniliselt kõige nõudlikumates valdkondades.